芯片生产环境洁净度高,清洗用水竟然使用超纯水系统制备
芯片主要发展始于上世纪50年代末期,一款芯片的诞生无论是从原材料还是中间经过的上百道工序,都需要非常精心。如今我国技术的不断发展与进步,芯片的集成度和性能也在不断地提高,我国芯片市场需求也是暴涨,因此相关产业的发展也随之带动起来。
为了保证生产芯片的纯净度,清洗水也需要使用高纯度的超纯水。制备超纯水必须严格按照国家标准来生产,这是为了保证在芯片生产过程中,不会产生多余的杂质影响芯片品质。
该超纯水系统主要是通常是自来水进入原水箱,通过原水泵增压,经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器,到达反渗透单元,双级反渗透系统产水进入EDI单元后经抛光混床单元得到电阻率18MΩ·cm(25℃)的超纯水,这样的水质就可供芯片生产使用了。
该系统应用的是优质膜元件,既能够可去除水中的导电介质,又能够将水中不溶解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水,生产的超纯水具有纯度高,无病毒和细菌,不含任何悬浮物、无化学污染等优点,并且系统还能实现全自动运行,无需专业看守也可正常产水,水质稳定有保障。还有一点便是,芯片生产中使用的超纯水系统内部还安置的反渗透预脱盐技术,从根本上保障了超纯水出水水质,不会对环境造成污染,对于保护环境来说有着重要的意义。
以上,关于超纯水系统的介绍就到这里。超纯水系统的应用帮助了芯片产品优质地生产出来。并且在可满足芯片生产用水的相关标准后,还可帮助企业降低生产的风险和成本。
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编辑:新奇 技术:加菲
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